泰克Keithley 6400 系列皮安表
經濟實惠的 5? 位 6485 型皮安表可以測量 10fA 至 20mA 的電流，速度高達每秒 1000 個讀數。6487 型皮安表/電壓提供比 6485 更高的精度和更快的上升時間、一個 500V 源以及一種與電容設備配合使用的阻尼功能。6482 型雙通道皮安表/電壓源提供比 6485 型或 6487 型更高的測量分辨率和雙獨立 30V 電壓偏置源。?
特點 | 優勢 |
| 電流分辨率低至 1fA (6482) | 可測量元器件中的超低漏電流、光學器件中的暗電流以及顯微儀器中的射束電流。 |
| 輸入端壓降低至 200μV | 可以進行高精度電流測量，即使在源電壓非常低的電路中也可以測量。 |
| 雙通道測量 (6482) | 簡化了分析多通道設備、監視材料上多個位置的電流以及一次性記錄來自多個傳感器的數據的過程。 |
| 有 0、1 或 2 個內置電壓源可供選擇 | 確保您可以找到適合應用要求的電壓偏置功能。 在 6487 型皮安表/電壓源中通過 500V 源進行絕緣電阻測試。 |
| 內置模擬輸出 | 允許將測量結果傳輸到數字萬用表、數據采集卡、示波器或帶形圖紙記錄儀等設備，以進行信號響應和趨勢分析。 |
| 測量高達 20mA 的電流 | 支持測量高電流，比如測量 4-20mA 傳感器回路。 |
| 最高每秒 1,000 個讀數 | 支持高吞吐量生產測試需求。 |
| 內置觸發鏈路接口 | 簡化了通過將六個獨立可選的觸發線路結合在一個單一的連接器上，對系統中的所有儀器進行簡單、直接的控制，從而實現與其他儀器和電壓源同步的過程。 |
6482型雙通道皮安表/電壓源提供兩個 獨立的皮安表/電壓源通道，適合需要雙通 道測量的多種低電平測量應用。該產品在 測量能力已被證明的吉時利6485型5位半皮 安表的基礎上，提高了測量分辨率，增加 了一個第二測量通道以及兩個獨立的30V電 壓偏置源。
由于具有雙通道測量能力，6482型雙 通道皮安表/電壓源成為一個強大的測量 工具，適合分析多通道器件，監控材料中 多個位置的電流，并立即記錄來自多傳感 器的數據。雙通道能力更容易實現控制和 數據聚集。更高的通道密度增加了受限空 間內的儀器數量（和通道）。
主要特點:
雙通道6位半測量能力
雙±30V偏置電源
測量電流高達20mA
測量電流分辨率1fA
0–10V模擬輸出用于高分辨率 測量反饋
支持裝配工藝、最終測試、部件 binning和技術規范
每通道具3000點緩存，支持測試 完成后數據發送
觸發連接，用于器件進倉與掃描 測試操作
IEEE-488與RS-232接口
應用
制造元器件測試
雙二極管測試
半導體器件測試
多引腳器件測試
離子束監測
電子顯微鏡
可編程限幅和濾波器
與吉時利絕大部分儀器一樣，對于6482型雙通道皮安表/電壓源的電流和電壓 極限限幅，可以進行編程，以確保關鍵點（如測試開始）期間的器件保護。這些儀 器還提供均值與中值濾波器，可以用于將數據存儲在緩存中。
比率測量或σ測量
6482型雙通道皮安表/電壓源可以在兩個完全隔離的通道之間提供比例測量或 σ測量。通過前面板或GPIB接口可以接入這些功能。對于包括多個探頭的測試設 置，這個功能支持目標控制能力。
擴展測試和測量靈活性的特點
? 按比例的電壓模擬輸出。此輸出允許6482型皮安表將測量結果發送至數字多用 表（DMM）、數據采集板、示波器或長圖記錄儀等設備。
? 220V過載保護。高負載保護和堅固設計能讓6482型皮安表耐受過量溢出。
? 一鍵式前面板設計。按一次按鈕就能輕松配置功能，無需復雜的功能菜單。
? 內建觸發鏈路接口。觸發鏈路接口簡化了6482型皮安表與其它儀器及電壓源的 同步。此接口在單個連接器上結合了6種單獨可選的觸發線路，以實現輕松、 直接地控制系統中的全部儀器。
? RS-232和IEEE-488接口。這些接口能輕松將6482型皮安表集成進自動測試和測 量系統中。
? 顯示on/off開關。對于光敏器件的研究，如測量光電二極管的暗電流，可以關 閉前面板顯示，以防引入光線而導致測量結果準確性大幅降低。
? REL和LOG功能。6482型皮安表能針對基線值進行相對讀數，或者顯示測量電流 絕對值的對數。
? 后面板三同軸輸入。三同軸輸入確保最優的噪聲保護。其包括的Triax-BNC適 配器，允許在不太介意噪聲的現場部署便宜易用的BNC電纜。
技術指標適用的條件
本文介紹了6482型雙通道皮安表/電壓源的技術指標和補充說明。這些技術指標是測試6482型雙通道皮安表/ 電壓源依據的標準。在出廠時，6482型雙通道皮安表/電壓源符合這些技術指標。補充說明和典型值不在質保范 圍內，適用于23°C，僅用作有效信息。
精確技術指標適用于普通模式和高電容模式。
6482型儀表提供兩個獨立的皮安表/電壓源通道，適合多種測量應用。在6482型儀表的背板上包括每個通道 的模擬輸出插孔。
這些源和測量精度在下列條件下適用于6482型終端。
1. 23°C ±5°C，相對濕度<70%
2. 經過1小時的預熱
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 啟用A/D自動調零
5. 歸零局部操作
6. 校準周期=1年
測量技術指標1
| 量程 | 最高分辨率 | 精度 1, 2 23° ±5°C ±(% rdg +補償) | 溫度系數 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補償)/°C | 直流輸入 阻抗 3 （最大值） |
| 2.000000 nA | 1 fA | 1.00% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 20.00000 nA | 10 fA | 0.40% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 200.0000 nA | 100 fA | 0.30% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 2.000000 μA | 1 pA | 0.20% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 20.00000 μA | 10 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 200.0000 μA | 100 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 2.000000 mA | 1 nA | 0.10% + 2 μA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
| 20.00000 mA | 10 nA20.00000 mA | 0.10% + 2 μA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
電壓偏移技術指標
| 量程 | 分辨率 | 精度 23°C ±5°C | 最大電流 | 負載調整率4 | 溫度系數 |
| ±10 V | <400 μV | ±(設置的0.15% + 5 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 150 ppm/°C |
| ±30 V | <4 mV | ±(設置的0.3% + 50 mV) | 20 mA | < 0.30%, 0 - 20 mA | 300 ppm/°C |
模擬輸出技術指標
輸出電壓量程(輸出是反相的) 2: 對于正滿量程輸入，電壓輸出量程為–10V；對于負滿量程輸入，電壓輸出 量程為+10V。
輸出阻抗: 1kΩ（典型值）
| 量程 | 精度 23° ±5°C ±(% rdg +補償) | 溫度系數 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補償)/°C | 典型上升時間 (10% to 90%) |
| 2.000000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 7 mV | 6.1 ms |
| 20.00000 nA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 700 μV | 6.1 ms |
| 200.0000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 395 μs |
| 2.000000 μA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 395 μs |
| 20.00000 μA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 135 μs |
| 200.0000 μA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 135 μs |
| 2.000000 mA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 21 μs |
| 20.00000 mA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 μV | 21 μs |
典型本底噪聲測量的技術指標
| 典型本底噪聲 RMS (1 STDEV), 100個樣本 | ||||
| 量程 | 0.01 NPLC | 0.1 NPLC | 1.0 NPLC | 10 NPLC |
| 2.000000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 20.00000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 200.0000 nA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 2.000000 μA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 20.00000 μA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 200.0000 μA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 2.000000 mA | 2 μA | 1.5 μA | 25 nA | 5 nA |
| 20.00000 mA | 2 μA | 1.5 μA | 25 nA | 5 nA |
典型速度與噪聲抑制
| 讀數/秒 | ||||
| 分辨率 | GPIB(SCPI) | GPIB(488.1) | NPLC | NMRR |
| 4位半 | 700 | 900 | 0.01 | — |
| 5位半 | 60 | 475 | 0.1 | — |
| 6位半 | 58 | 58 | 1 | 60 dB |
公共指標
源電容：穩定至10.0nF (典型值)。
輸入偏置電流5：50fA（最大值）@ 23°C。
輸入電壓負擔6：4.0mV（最大值）。
電壓源斜率：3.0ms/V (典型值)。
共模電壓：200VDC。
共模隔離度：典型值109Ω并聯150nF。
過量程：測量量程的105%。
內存緩沖：6000讀數 (2個3000點緩存)。包括 選定的測量值和時標。
可編程性：IEEE-488.2, RS-232, 用戶定義的5個 上電狀態，外加工廠默認設置和*RST。
輸出啟動接頭：
輸出啟動：有源低輸入。
輸入線：SOT (測試開始) 觸發輸入。
電源：100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA（最大值）。
保質期：1年。
EMC：符合歐盟電磁兼容（EMC）指令。
震動：MIL-T-28800F random class 3。
安全性：符合歐盟低壓電器指令。
預熱：1小時到相關精度。
尺寸：
機架安裝：89mm 高 × 213mm 寬 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
臺式配置(帶手柄和腳): 104mm高 × 238mm 寬× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量：23.1kg (10.5 lb.)
工作環境：僅限于室內。
海拔：高于海平面最大2000米(6562 ft)。
工作：溫度0°–50°C；相對濕度70% R.H.（最高35°C），在35°–50°C，相對 濕度降低3%/°C。
存儲：–25°C 到 65°C。
注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC)，篩選。
2. 1年。
3. 在滿量程(以及零)輸入電流情況下，測量DVin/ΔIin。
4. 在滿量程(20mA) 以及零負載電流情況下，測量DVin/ΔIin。
5. 根據設計確定技術指標。
6. 在滿量程(20mA) 以及零輸入電流情況下，在輸入三同軸接頭處進行測量。
泰克Keithley 6400 系列皮安表